使用高介電強度氣體是削弱、電離和加強去離子的方法之一。

   高介電強度氣體是指介電強度高于空氣的氣體，如鹵素氣體，包括六氟化硫（SF6）、氟利昂（CCI2F2）等。

   幾種氣體的相對二元強度（在相同壓力和分離距離下，氣體的二元強度與空氣的二元強度之比）、氣體的分子量和氣體液化溫度（0.1 MPa）。它可以大大提高差距。在空氣中加入一定比例的高膽汁氣體也能在一定程度上增加通電間隙。

    鹵化物氣體介電強度高的原因如下：

    鹵素氣體具有很強的電負性，氣體分子很容易與電子結合形成離子。負秒在氣體放電理論中，負離子對分解過程的貢獻遠小于電子，從而導致電子數的減少。導致ELE場電離度降低電。同時，負離子的存在促進了帶電粒子的復合過程。

    由于這些氣體的分子直徑大，電子的自由程短，很難積累能量，從而降低了電子的電離能力。

    當電子遇到這些不同氣體的分子時，很容易使氣體的分子結構極化，從而增加能量損失，降低電場的電離能力。

    SF6廣泛應用于高壓電器領域。